气流传感器

摘要

本发明提供一种气流传感器，其具备：测定用感热元件，设置在作为测定对象的气体所流通的风道内；及支承机构，在风道内支承测定用感热元件，测定用感热元件具备：绝缘性薄膜；薄膜热敏电阻部，以热敏电阻材料形成于该绝缘性薄膜的表面上；一对梳状电极，在薄膜热敏电阻部上具有多个梳齿部且相互对置并以金属形成图案；及一对图案电极，与一对梳状电极连接并在绝缘性薄膜表面上形成图案，支承机构使绝缘性薄膜的平面方向相对于风道内的气流方向平行地配置。

主权项

一种气流传感器，其特征在于，具备：测定用感热元件，设置在作为测定对象的气体所流通的风道内；及支承机构，在所述风道内支承所述测定用感热元件，所述测定用感热元件具备：绝缘性薄膜；薄膜热敏电阻部，以热敏电阻材料形成于该绝缘性薄膜的表面上；一对梳状电极，在所述薄膜热敏电阻部上侧及下侧的至少一方具有多个梳齿部且相互对置并以金属形成图案；及一对图案电极，与所述一对梳状电极连接并在所述绝缘性薄膜的表面上形成图案，所述支承机构使所述绝缘性薄膜的平面方向相对于所述风道内的气流方向平行地配置。