用于形成热电装置的系统和方法

摘要

用于形成热电元件的汽相方法，包括在反应空间中提供衬底，该衬底包括与衬底相邻的金属材料的图案，该金属材料被配置用于催化衬底的氧化。继而使金属材料暴露于具有氧化剂和化学蚀刻剂的气体以在衬底中形成孔或从衬底形成丝。

主权项

一种用于形成热电元件的方法，包括：(a)在反应空间中提供衬底，其中所述衬底包含半导体材料，其中所述衬底具有与所述衬底相邻的金属材料的图案，该金属材料被配置用于催化所述衬底的氧化；(b)使所述金属材料暴露于汽相氧化剂和汽相化学蚀刻剂；以及(c)以至少约0.01微米/秒的蚀刻速率蚀刻所述衬底以在所述衬底中形成孔或从所述衬底形成丝，从而形成所述热电元件。