发明名称 |
多晶硅电池制绒工艺 |
摘要 |
本发明公开了一种多晶硅电池制绒工艺,其具体步骤如下:(1).对多晶硅电池进行NaOH碱预处理;(2).将经过碱预处理的多晶硅电池进行水洗;(3).将经过步骤(2)水洗的多晶硅电池放入硝酸和氢氟酸的混合酸腐蚀液中进行制绒工艺;(4).将经过步骤(3)酸腐蚀工艺的多晶硅再次进行水洗;(5).对多晶硅电池进行低浓度碱洗,再进行水洗;(6).对经过步骤(5)的多晶硅电池进行盐酸、氢氟酸进行二次酸腐蚀工艺,并进行水洗;(7).将多晶硅进行吹干,完成整个工艺;以达到提高硅的表面制绒质量、延长酸腐蚀槽的使用寿命和利于生产的目的。 |
申请公布号 |
CN104752566A |
申请公布日期 |
2015.07.01 |
申请号 |
CN201510201789.1 |
申请日期 |
2015.04.24 |
申请人 |
中建材浚鑫科技股份有限公司 |
发明人 |
郭建东;樊选东;钱明星;关统州 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I;C30B33/10(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
苏州中合知识产权代理事务所(普通合伙) 32266 |
代理人 |
李中华 |
主权项 |
一种多晶硅电池制绒工艺,其特征在于,其具体步骤如下:(1).对多晶硅电池进行NaOH碱预处理;(2).将经过碱预处理的多晶硅电池进行水洗;(3).将经过步骤(2)水洗的多晶硅电池放入硝酸和氢氟酸的混合酸腐蚀液中进行制绒工艺;(4).将经过步骤(3)酸腐蚀工艺的多晶硅再次进行水洗;(5).对多晶硅电池进行低浓度碱洗,再进行水洗;(6).对经过步骤(5)的多晶硅电池进行盐酸、氢氟酸进行二次酸腐蚀工艺,并进行水洗;(7).将多晶硅进行吹干,完成整个工艺。 |
地址 |
214400 江苏省无锡市江阴市申港镇镇澄路1011号 |