具氮化铝薄膜之热扩散元件及其制作方法

主权项

一种具氮化铝薄膜之热扩散元件，包括：一基板，其系为一半导体晶片并具有一上表面、及一下表面；以及一氮化铝薄膜，其系设于该基板之该上表面上，该氮化铝薄膜之厚度系介于1nm至10μm之间，且该氮化铝薄膜系作为热传输媒介；其中该氮化铝薄膜系透过直流真空溅镀、脉冲式直流真空溅镀、磁控溅镀、射频溅镀系统、蒸镀法、化学气相沉积法、电浆辅助化学气相沉积法、感应耦合式电浆沉积法、微波电子回旋共振沉积法、或原子气相沉积法所形成。