流出气体之改良式减量系统及方法

主权项

一种在电子元件制造期间将所产生的非期望材料减量之方法，其包含以下步骤：于一高层级设定启动一减量系统，其中该高层级设定包括下列中之一者：燃料流量、功率层级、反应物类型或流量、或冷却剂流量；在该减量系统接收具有一非期望材料的一流出物；在该高层级设定使用该减量系统减量该非期望材料；接收关于该流出物的资讯；分析该资讯以决定一最适设定，其中该最适设定对应至一选择的设定效能；调整该高层级设定至该最适设定；以及接收具有更多该非期望材料之更多该流出物。