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一种利用小孔衍射波进行待测件定位的装置，其特征在于，包括：激光器(1)、滤波孔(2)、第一聚光镜(3)、空间滤波器(4)、扩束镜(5)、λ/2波片(6)、λ/4波片(7)、衰减片(8)、第二聚光镜(9)、掩模版(10)、待测件(11)、平移台(12)、转台(13)、第三聚光镜(14)、探测器(15)和计算机(16)；其中：滤波孔(2)放置在激光器(1)的出光口，第一聚光镜(3)放置在滤波孔(2)和空间滤波器(4)中间，滤波孔(2)放置的位置为物面位置，空间滤波器(4)放置在像面位置；空间滤波器(4)同时放置在扩束镜(5)的前焦点，λ/2波片(6)、λ/4波片(7)依次放置在扩束镜(5)后面，其中滤波孔(2)、第一聚光镜(3)、空间滤波器(4)、扩束镜(5)、λ/2波片(6)、λ/4波片(7)的中心都在同一光轴上，λ/2波片(6)、λ/4波片(7)平行于扩束镜(5)，衰减片(8)、第二聚光镜(9)与λ/4波片(7)同一光轴，第二聚光镜(9)放置在衰减片(8)后面，掩模版(10)固定在待测件(11)侧面，待测件(11)放置在平移台(12)上面，平移台(12)放置在转台(13)上面，探测器(15)放在第三聚光镜(14)后面；计算机(16)与探测器(15)连接；激光器(1)，用于发出激光作为照明光源；滤波孔(2)，利用衍射效应用于将激光发出的光散射；第一聚光镜(3)，用于收集滤波孔发出的散射光；空间滤波器(4)，用于将聚光镜收集的光过滤掉杂散光；扩束镜(5)，用于将空间滤波器过滤的点光源的光变为平行光；λ/2波片(6)，用于旋转激光光源的偏振方向；λ/4波片(7)，用于和λ/2波片结合来调节产生圆偏振光；衰减片(8)，用于改变光束的光强；第二聚光镜(9)，用于将光束缩束到掩模版(10)上的小孔上；掩模版(10)，包含小孔和小孔阵列，上面小孔镀反射膜用于反射光；同时根据小孔的位置，定位待测件位置；待测件(11)：可以是光学件也可以是机械件，或金属件、塑料件；平移台(12)，用于放置待测件，同时控制待测件的平动；转台(13)，用于控制待测件的转动；第三聚光镜(14)，用于将反射后的光投射到CCD探测器(15)上，计算机(16)与探测器(14)连接，计算机(16)存储并处理探测器(15)记录的光强信息。 |
