发明名称 Device for characterising particles in a particle stream under vacuum
摘要 L'invention concerne un dispositif (100) de caractérisation de particules évoluant sous vide dans un jet de particules, caractérisé en ce qu'il comprend : - un système (110) pour générer un jet de particules dans une chambre (120) à laquelle est associé un moyen de pompage (121) du fluide présent dans la chambre afin de faire régner le vide dans cette chambre ; - un laser (30) émettant un faisceau laser sous la forme d'impulsions dont les caractéristiques sont contrôlées par un moyen de commande (27), laser auquel est associé un dispositif optique (60) agencé pour focaliser ledit faisceau dans la chambre (120), perpendiculairement à la direction de propagation du jet de particules pour créer, dans un volume focal (50) comportant au plus une particule du jet, un plasma par l'interaction entre le faisceau laser et cette particule du jet, ledit plasma émettant d'autres particules, caractéristiques de l'interaction entre le laser et les particules du jet ; - au moins un dispositif de détection (61, 62) agencé pour détecter les particules émises par le plasma et auquel est associé un moyen d'acquisition et de traitement des données (28) issues de la détection desdites particules émises par le plasma.
申请公布号 EP2889602(A1) 申请公布日期 2015.07.01
申请号 EP20140199559 申请日期 2014.12.22
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES;SYNCHROTRON SOLEIL 发明人 SUBLEMONTIER, OLIVIER;BARREDA, FLORY-ANNE;SIRVEN, JEAN-BAPTISTE;LACOUR, JEAN-LUC;NICOLAS, CHRISTOPHE;ROBERT, EMMANUEL
分类号 G01N1/40;G01N1/22;G01N15/06;G01N21/71;H01J49/04;H01J49/26 主分类号 G01N1/40
代理机构 代理人
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