脉冲激光微沉积图案形成

摘要

本申请披露了一种利用脉冲激光在透明基片上形成图案的方法。不同的实施例包括超短脉冲激光，对于激光波长透明的基片，和靶板。激光束被引导通过透明基片并聚焦在靶表面上。靶材料被激光烧蚀并且被沉积在相对的基片表面上。通过相对于靶扫描激光束形成图案，例如灰度图像。激光束扫描速度和扫描线密度的变化控制了材料沉积并且改变了沉积图案的光学特性，产生视觉效果的灰度。在一些实施例中，在制备过程中可在微电子设备的一部分上形成图案。在一些实施例中，高重复频率皮秒和纳秒源被设置成产生图案。

主权项

一种脉冲激光沉积以便在介质上产生图案的方法，所述介质在所述脉冲激光的波长下透明，所述方法包括：由脉冲激光源产生脉冲激光束；使所述脉冲激光束透射通过所述介质；将所述脉冲激光束聚焦到靶上，所述靶产生喷出物来响应所述脉冲激光束和所述靶的相互作用；相对于所述介质和靶扫描所述激光束；在所述介质上积聚至少一部分所述喷出物以便在所述介质上形成材料沉积物；和，改变激光束扫描速度和扫描线密度的至少一个以便控制所述材料沉积物的厚度，从而改变所述介质的一区域的光密度，并形成具有不同的光密度的空间图案，其中所述激光束扫描速度或所述扫描线密度根据待印制的图案的灰度而变化，所述灰度在所述图案的数字化图像中包括至少三个灰度级。