发明名称 |
一种用于石墨烯生长的工艺腔 |
摘要 |
本实用新型公开了一种用于石墨烯生长的工艺腔,用于生产石墨烯薄膜,包括腔体,所述腔体的上端和下端的内壁上均设有一环形安装槽,每个所述环形安装槽中均设有耐高温碳碳材料圆筒。本实用新型中,由于腔体的上端和下端管壁安装了耐高温碳碳材料圆筒,碳碳材料容易吸附铜及黑色炭残留物,腔体长时间使用后铜及黑色炭残留物聚集在耐高温碳碳材料圆筒上,当腔体使用40天至50天后,拆掉耐高温碳碳材料圆筒,安装新的耐高温碳碳复合材料圆筒,工艺腔可以恢复生产,工艺腔的清洗间隔周期延长,清洗过程时间缩短。 |
申请公布号 |
CN204434725U |
申请公布日期 |
2015.07.01 |
申请号 |
CN201520061257.8 |
申请日期 |
2015.01.29 |
申请人 |
重庆墨希科技有限公司;中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
发明人 |
于本文;史浩飞;李占成;钟达;杜春雷 |
分类号 |
C23C16/44(2006.01)I;C23C16/26(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/44(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种用于石墨烯生长的工艺腔,用于生产石墨烯薄膜,其特征在于:包括腔体(1),所述腔体(1)的上端和下端的内壁上均设有一环形安装槽(3),每个所述环形安装槽(3)中均设有耐高温碳碳材料圆筒(2)。 |
地址 |
400000 重庆市九龙坡区凤笙路15号附3号 |