处理物件物搬送系统及基板检测系统

摘要

提供一种能容易变更针对处理物件物的处理内容或处理能力的处理物件物搬送系统。该系统包括：搬送机构，沿水准延伸的搬送路径搬送检测基板；提升机构，将被检测基板从搬送路径的设定位置提升至高度位置；处理单元，具有针对位于高度位置的被检测基板执行所定处理的处理部。各处理单元的搬送路径排成一列且搬送方向相同，且在相邻的两个搬送路径之间，将被检测基板从上流侧的搬送路径传送至下流侧的搬送路径，且在各个对应的处理单元中，在被检测基板位于高度位置的期间，通过被检测基板的下方，搬送不同于所述被检测基板的被检测基板。