基板处理装置、基板处理方法、暨基板处理系统

摘要

本发明之第2基板处理装置之第2控制装置系判断基板之处理开始预测时刻是否在处理开始期限之前。若处理开始预测时刻为处理开始期限之前，第2控制装置系使第2基板处理装置执行最初之第1计划及第2计划。另一方面，在处理开始预测时刻为处理开始期限之后之情形时，第2控制装置系以处理开始预测时刻成为处理开始期限之前之方式变更最初之第1计划及第2计划，并且使第2基板处理装置执行变更后之第1计划及第2计划。