| 主权项 |
一种气体回收系统，系用于处理硒化氢因热裂解产生的废气并进行回收再利用，其中包括：至少一气体供给系统，其中包含：一供给源，系提供至少一包含硒化氢之气体；及一气体供给单元，系与该供给源连接；至少一气体处理系统，与该气体供给系统连接，其中包括：一气体反应器，系与该气体供给单元连接，用于进行一硒化制程之硒化氢热裂解反应；及一气体还原装置，系与该气体反应器连接，该气体还原装置包括一气体还原单元及一气体导入管，该气体导入管内流通一包含硒化氢热裂解反应形成的废气之第一气体，且该气体还原单元连接该气体导入管，其中，该气体还原单元进一步包括：一导管，连接该气体导入管；一还原气体源，系与该导管连接，并提供一包含氢离子之第二气体流通至该气体导入管内；及一微波发射装置，系发射一微波，并将该微波射入至该导管内之该包含氢离子之第二气体；及一气体分离系统，系与该气体处理系统连接，其中包括：一第一排气单元，系与该气体还原装置连接；一纯化单元，系与该第一排气单元连接；一第二排气单元，系与该纯化单元连接；一除害装置，系与该第一排气单元及该第二排气单元连接；及一加热蒸发单元，系与该纯化单元及该气体供给单元连接。 |
