一种基于纳米压入测试技术的超薄膜疲劳失效预测方法

摘要

本发明公开了一种基于纳米压入测试技术的超薄膜疲劳失效预测方法，其具体步骤如下：利用磁控溅射技术制备组织均匀的薄膜；将薄膜放在纳米压痕仪上，设定合适测试参数，包括平均载荷大小，载荷幅值，以及加载频率，进行测试；测试结果中，可以得到薄膜的存数刚度，随时间的变化关系；分析实验结果，找出数据中存数刚度变化的转折点，此点所对应的时间为薄膜发生疲劳失效的时间。本发明利用DMA组件实现基于纳米压入测试技术的超薄膜疲劳失效预测方法，该方法操作简单，结果准确有效，适应性强。

主权项

一种基于纳米压入测试技术的超薄膜疲劳失效预测方法，其具体步骤如下：(1)利用磁控溅射技术制备组织均匀的薄膜；(2)将所得薄膜放在纳米压痕仪上，设定合适测试参数，包括平均载荷大小，载荷幅值，以及加载频率，进行测试；(3)测试结果中，可以得到薄膜的存数刚度，随时间的变化关系；(4)分析实验结果，找出数据中存数刚度变化的转折点，此点所对应的时间为薄膜发生疲劳失效的时间。