一种基座支撑结构以及腔室

摘要

本发明提供一种基座支撑结构，用于支撑腔室中的基座，所述基座支撑结构包括底座、升降杆、轴承部件，所述底座包括上部和形成在所述上部下端面的下部，所述底座的上部的外边缘延伸超过所述底座的下部的外边缘，所述轴承部件和所述底座的下部连接，所述升降杆穿过所述轴承部件和所述底座，以和所述基座相连。相应地，本发明还提供一种腔室。本发明能够更好地保证轴承部件与底座之间的同轴度，同时，与现有技术相比，本发明中基座支撑结构的安装更加便捷，并且，本发明仅需在腔室底壁上加工一个固定孔而无需加工螺纹孔。

主权项

一种基座支撑结构，用于支撑腔室中的基座，其特征在于，所述基座支撑结构包括底座、升降杆、轴承部件，所述底座包括上部和形成在所述上部下端面的下部，所述底座的上部的外边缘延伸超过所述底座的下部的外边缘，所述轴承部件和所述底座的下部连接，所述升降杆穿过所述轴承部件和所述底座，以和所述基座相连。