镜头模组及其镜片、晶圆级镜片阵列及其制作方法

摘要

一种晶圆级镜片阵列的制作方法，包括：提供透明基板，透明基板具有相对的第一表面及第二表面。经过多次曝光、显影、蚀刻、清洗，在第一表面形成多个凸台状光学部，在第二表面形成多个凹槽状光学部，凸台状光学部包括多个层叠设置圆柱，且多个圆柱的对称轴位于同一直线上，多个圆柱的直径沿着远离第一表面方向逐渐减小，凹槽状光学部与凸台状光学部的光轴位于同一直线上，凹槽状光学部的内侧壁环绕设有多个环形的台阶部，每个台阶部围成一个圆槽，多个圆槽的对称轴位于同一直线上，多个圆槽的直径自第二表面朝向第一表面逐渐减小。还提供由上述制作方法制成的晶圆级镜片阵列。并提供一种由晶圆级镜片阵列制得的镜片及含有该镜片的镜头模组。

主权项

一种镜头模组的镜片，其特征在于，包括透明基板，所述透明基板包括相对的第一表面及第二表面，所述第一表面上设有一个凸台状光学部，所述凸台状光学部包括多个层叠设置圆柱，且多个所述圆柱的对称轴位于同一直线上，多个所述圆柱的直径沿着远离所述第一表面方向逐渐减小，所述第二表面上设有一个凹槽状光学部，所述凹槽状光学部与所述凸台状光学部的光轴位于同一直线上，所述凹槽状光学部的内侧壁环绕设有多个环形的台阶部，每个所述台阶部围成一个圆槽，多个所述圆槽的对称轴位于同一直线上，多个所述圆槽的直径自所述第二表面朝向所述第一表面逐渐减小。