发明名称 |
具有自洁式视窗之蒸镀设备 |
摘要 |
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申请公布号 |
TWI490362 |
申请公布日期 |
2015.07.01 |
申请号 |
TW102104271 |
申请日期 |
2013.02.04 |
申请人 |
生阳新材料科技有限公司 |
发明人 |
黄世壬;陈君健;廖科峰;任常宝;黎胜;陈官璧;邱文鼎;曾昭隆 |
分类号 |
C23C14/56 |
主分类号 |
C23C14/56 |
代理机构 |
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代理人 |
吴宏亮 台中市南屯区永春东一路549号3楼;刘绪伦 台中市南屯区永春东一路549号3楼 |
主权项 |
一种具有自洁式视窗之蒸镀设备,包含有:一腔体,具有一内部腔室及一视窗口,该视窗口贯穿该腔体之内、外壁面,使该内部腔室经由该视窗口与外界相通;一支撑座,固定于该腔体之外壁面且具有一安装槽,该安装槽连通该腔体之视窗口;一透明视窗板,固定于该支撑座之安装槽内且正对该腔体之视窗口;以及一加热器,设于透明视窗板,用以对该透明视窗板进行加热。 |
地址 |
萨摩亚 |