发明名称 具有自洁式视窗之蒸镀设备
摘要
申请公布号 TWI490362 申请公布日期 2015.07.01
申请号 TW102104271 申请日期 2013.02.04
申请人 生阳新材料科技有限公司 发明人 黄世壬;陈君健;廖科峰;任常宝;黎胜;陈官璧;邱文鼎;曾昭隆
分类号 C23C14/56 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人 吴宏亮 台中市南屯区永春东一路549号3楼;刘绪伦 台中市南屯区永春东一路549号3楼
主权项 一种具有自洁式视窗之蒸镀设备,包含有:一腔体,具有一内部腔室及一视窗口,该视窗口贯穿该腔体之内、外壁面,使该内部腔室经由该视窗口与外界相通;一支撑座,固定于该腔体之外壁面且具有一安装槽,该安装槽连通该腔体之视窗口;一透明视窗板,固定于该支撑座之安装槽内且正对该腔体之视窗口;以及一加热器,设于透明视窗板,用以对该透明视窗板进行加热。
地址 萨摩亚