| 发明名称 | 一种用于静电吸盘的多通道射频滤波器 | ||
| 摘要 | |||
| 申请公布号 | TWI491100 | 申请公布日期 | 2015.07.01 |
| 申请号 | TW100139750 | 申请日期 | 2011.11.01 |
| 申请人 | 中微半导体设备（上海）有限公司 | 发明人 | 倪图强 |
| 分类号 | H01P1/20;H01L21/683 | 主分类号 | H01P1/20 |
| 代理机构 | 代理人 | 蔡清福 台北市中山区中山北路3段27号13楼 | |
| 主权项 | 一种用于静电吸盘的多通道射频滤波器，其特征在于，所述多通道射频滤波器包含整合在同一个多层绕组(10)中并可独立工作的若干电感滤波线圈，所述多层绕组(10)的结构包含一个封装部件(12)，所述封装部件(12)中开设有若干通道；所述若干电感滤波线圈是将若干导线(11)，对应穿设在该若干通道中形成的；所述静电吸盘(20)顶部的介电层(21)中设置有若干加热元件(312)；其中若干所述电感滤波线圈在多层绕组(10)中的导线(11)包括若干第一导线，所述若干第一导线各自具有第一端与该介电层(21)中的所述若干加热元件(312)对应连接。 | ||
| 地址 | 中国 | ||