蒸镀方法与蒸镀设备

主权项

一种蒸镀方法，用于一蒸镀设备，其中该蒸镀设备包括：一腔体，具有一第一腔室、一第二腔室、一出口、一连通口、至少一第一入口与至少一第二入口，其中该连通口连接该第一腔室与该第二腔室，该出口位于该第二腔室，该腔体更具有至少一第三入口；至少一第一蒸镀源，配置于该第一入口；以及至少一第二蒸镀源，配置于该第二入口，其中该第一蒸镀源提供的一第一气体经由该第一入口进入该第一腔室，该第二蒸镀源提供的一第二气体经由该第二入口进入该第一腔室，进入该第一腔室的该第一气体与该第二气体在该第一腔室内混合后，经由该连通口进入该第二腔室，该蒸镀方法包括：使该第一气体与该第二气体以临界流的状态进入第一腔室并混合；使混合后的该第一气体与该第二气体从该第一腔室进入该第二腔室；以及经由该第三入口引入一鞘层气体(sheath gas)至该第二腔室，并以该鞘层气体产生强制对流而使该第二腔室内的混合后的该第一气体与该第二气体带离该第二腔室。