发明名称 |
工艺流程的变更方法、对变更的工艺流程进行监控的方法 |
摘要 |
本发明涉及工艺流程的变更方法、对变更的工艺流程进行监控的方法。所述工艺流程的变更方法包括:对晶片组进行预分批,以得到若干晶片批次;根据当前的变更申请选择可适用所述变更申请的晶片批次,所述晶片批次的晶片包括基准晶片;从所选择的可适用所述变更申请的晶片批次中选择除所述基准晶片以外的变更晶片,以获取晶片组分批结果;基于所述晶片组分批结果执行所述工艺流程。本发明能够降低工艺流程的变更重复率和变更成本。 |
申请公布号 |
CN104751261A |
申请公布日期 |
2015.07.01 |
申请号 |
CN201310745816.2 |
申请日期 |
2013.12.30 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
发明人 |
郭腾冲;刘萍 |
分类号 |
G06Q10/06(2012.01)I;G06Q50/04(2012.01)I |
主分类号 |
G06Q10/06(2012.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
骆苏华 |
主权项 |
一种工艺流程的变更方法,基于至少一次变更申请,其特征在于,包括:对晶片组进行预分批,以得到若干晶片批次;根据当前的变更申请选择可适用所述变更申请的晶片批次,所述晶片批次的晶片包括基准晶片;从所选择的可适用所述变更申请的晶片批次中选择除所述基准晶片以外的变更晶片,以获取晶片组分批结果;基于所述晶片组分批结果执行所述工艺流程。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张江路18号 |