一种高稳定性薄膜氢气传感器

摘要

本实用新型涉及一种高稳定性薄膜氢气传感器，该薄膜氢气传感器包括基底、设置在基底上的用于检测氢气浓度的氢气测量单元及用于控制所述氢气测量单元温度的温度控制单元，氢气测量单元包括由多个电化学特性相同的氢敏电阻元件组成的具有4个桥臂的惠斯通电桥结构，该4个桥臂上的氢敏电阻元件的个数相同，且在该4个桥臂中的其中2个桥臂的氢敏电阻元件的表面设有用于隔离氢气的钝化复合镀层，该2个桥臂为相对的2个桥臂。本实用新型采用基于惠斯通电桥结构的氢气测量单元，传感器固有不稳定性引起的漂移和温度漂移可相互抵消，灵敏度是单一氢敏电阻的2倍，显著改善了薄膜氢气传感器的稳定性。

主权项

一种高稳定性薄膜氢气传感器，包括基底、设置在所述基底上的用于检测氢气浓度的氢气测量单元及用于控制所述氢气测量单元温度的温度控制单元，其特征在于：所述氢气测量单元包括由多个电化学特性相同的氢敏电阻元件组成的具有4个桥臂的惠斯通电桥结构，所述4个桥臂上的氢敏电阻元件的个数相同，且在所述4个桥臂中的其中2个桥臂的氢敏电阻元件的表面设有用于隔离氢气的钝化复合镀层，所述2个桥臂为相对的2个桥臂。