用以改进晶体管匹配的方法

摘要

本申请案涉及一种用以改进晶体管匹配的方法。本发明涉及一种用以调整设计数据库中的晶体管栅极几何形状以补偿晶体管间栅极作用区重叠差异并形成光罩的方法。本发明涉及一种用以调整设计数据库中的晶体管几何形状以补偿晶体管间栅极作用区重叠差异并补偿在晶体管栅极与隔离区/作用区界面交叉之处的晶体管接通电压降的方法。

主权项

一种形成集成电路的方法，其包括以下步骤：选择所述集成电路的设计数据库中具有不同于参考晶体管的参考栅极作用区重叠的目标晶体管栅极作用区重叠的目标晶体管；确定将使所述目标晶体管的驱动电流与所述参考晶体管的驱动电流匹配的目标晶体管栅极长度改变；将所述目标晶体管栅极长度改变应用于所述设计数据库中的所述目标晶体管的所述栅极；及在半导体晶片上制作具有所述目标晶体管栅极长度改变的所述晶体管。