发明名称 |
一种小片OGS高效激光蚀刻装置 |
摘要 |
本发明公开了一种小片OGS高效激光蚀刻装置,包括工件安置机构、双CCD抓标机构和扫描蚀刻机构,工件安置机构包括光学平台、DD马达和吸附平台;在一个工件蚀刻加工的同时,吸附平台上的另一个工位可以同时完成上料操作;DD马达带动吸附平台旋转180°,将下一片工件传送至激光蚀刻范围内,同时将已加工好的工件传送至上下料工位。本发明既消除了抓标运动所需时间,大幅提升生产效率,同时提高了人工利用率,能完成普通激光蚀刻机近两倍的产出,亦无需使用XY轴运动平台,降低了设备成本。 |
申请公布号 |
CN104741795A |
申请公布日期 |
2015.07.01 |
申请号 |
CN201510147011.7 |
申请日期 |
2015.03.31 |
申请人 |
武汉先河激光技术有限公司 |
发明人 |
刘磊;段光前 |
分类号 |
B23K26/362(2014.01)I;B23K26/082(2014.01)I;B23K37/04(2006.01)I;B23K26/70(2014.01)I |
主分类号 |
B23K26/362(2014.01)I |
代理机构 |
广州市红荔专利代理有限公司 44214 |
代理人 |
张小丽 |
主权项 |
一种小片OGS高效激光蚀刻装置,包括工件安置机构、双CCD抓标机构和扫描蚀刻机构,其特征在于:所述工件安置机构包括光学平台、底座设置在光学平台中心处的DD马达以及中心处固定在DD马达旋转端的吸附平台;所述双CCD抓标机构包括X轴位移台、Y轴位移台、Z轴位移台、两台CCD相机、两个同轴光以及两个棱镜,所述Y轴位移台由两个对称结构组成,且分别固定在X轴位移台两端,Z轴位移台同样由两个对称结构组成,且分别固定在两Y轴位移台近吸附平台一端,所述两个同轴光分别固定在Z轴位移台上并与X轴位移台平行,所述两台CCD相机固定于两同轴光的远吸附平台一侧,所述两棱镜固定于两同轴光的近吸附平台一侧;所述扫描蚀刻机构包括激光器、振镜和透镜,所述激光器与振镜的入光口连接,透镜水平设置在振镜扫描口下方中心处。 |
地址 |
430223 湖北省武汉市江夏区经济开发区两湖大道玉龙岛花园12区502栋1单元102号 |