模块化组合式气体纯化器和氩气纯化系统

摘要

本实用新型公开了一种模块化组合式气体纯化器，包括密封罐体、进气管和出气管，进气管由密封罐体顶部通入密封罐体底部，出气管设于密封罐体顶部；密封罐体内部装有若干个吸气剂模块，每个吸气剂模块包括一容器和充装在所述容器中的吸气剂。本实用新型公开还公开了一种包括上述纯化器的氩气纯化系统，高纯原料氩气源经过第一开关阀连接至纯化器的进气管，配器瓶经过第二开关阀连接至纯化器的出气管，气相色谱仪经过第三开关阀连接至纯化器的出气管。本实用新型设计合理，使用方便，提高了纯化器整体效率，减少再生及更换次数，降低了纯化成本，能够实现高纯氩气的纯化，纯化产品质量稳定。

主权项

一种模块化组合式气体纯化器，包括密封罐体、进气管和出气管，其特征在于，所述进气管由密封罐体顶部通入密封罐体底部，所述出气管设于密封罐体顶部；所述密封罐体内部装有若干个吸气剂模块，每个吸气剂模块包括一容器和充装在所述容器中的吸气剂。