测试装置

摘要

本发明提供一种测试被测试器件的测试装置，其在测试异常时高速地截止提供给被测试器件的电源。所述测试装置包括，电源部，其产生提供给被测试器件的电源电压；感应负载部，其设置在电源部和被测试器件之间的路径上；多个半导体开关，其串联连接在感应负载部和被测试器件之间的路径上；控制部，其在截止向被测试器件提供电压时，断开多个半导体开关。

主权项

一种测试装置，用于测试被测试器件，其包括：电源部，其产生提供给所述被测试器件的电源电压；感应负载部，其设置在所述电源部和所述被测试器件之间的路径上；多个半导体开关，其串联连接在所述感应负载部和所述被测试器件之间的路径上；控制部，其在截止向所述被测试器件提供电压时，断开所述多个半导体开关；以及调整部，其调整用于控制所述多个半导体开关导通或断开的多个控制信号各自的波形；所述调整部调整将所述多个控制信号分别向所述多个半导体开关的各个输入的时序；在作为所述被测器件的绝缘栅双极型晶体管中，栅极接入所述控制部、发射极接地、集电极接入所述控制部。