基板固持装置

主权项

一种基板固持装置，包含：运送臂本体，具有抽吸通路；衬垫本体，包含：吸附部，具有真空吸附该基板以将其固持之吸附面与抽吸口；及圆筒状安装部，形成连通该抽吸口之抽吸孔；衬垫固持构件，形成有该衬垫本体之该安装部能以保留余隙方式插入之插入孔，与连通该抽吸孔与该抽吸通路之连通路，固定于该运送臂本体；及圆形剖面之环状气密固持构件，被夹设在形成于该衬垫本体之该安装部之圆弧状外周槽，与形成于该衬垫固持构件之该插入孔之圆弧状内周槽之间，可弹性变形；该吸附部自该安装部的上端朝外方形成为锷状，该外周槽自该安装部延续至该吸附部下表面形成，该内周槽形成于该插入孔开口缘部，该环状气密固持构件其上部自该衬垫固持构件表面突出而被夹设在该外周槽与该内周槽之间。