主权项 |
一种正型感光性树脂组成物,其特征为包含:(a)将下述通式(1)所示的有机矽烷及有机矽烷寡聚物水解、部分缩合而合成的聚矽氧烷,(b)铝化合物粒子、锡化合物粒子、钛化合物粒子、锆化合物粒子、此等的复合粒子或此等的任一者与矽化合物的复合粒子,(c)萘醌二叠氮化合物以及(d)溶剂,且该有机矽烷寡聚物包含下述通式(2)所示的有机矽烷;
(该通式(1)中,R1表示氢、碳数1~10的烷基、碳数2~10的烯基或碳数6~16的芳基;R2表示氢、碳数1~6的烷基、碳数2~6的醯基或碳数6~16的芳基;n表示0~3的整数;n为2以上时,复数个R1可相同或相异;又,n为2以下时,复数个R2可相同或相异);(该通式(2)中,R3~R6各自独立,表示氢、碳数1~6的烷基、碳数2~6的醯基或碳数6~16的芳基;m表示2~8的范围;m为2以上时,复数个R4及R5各自可相同或相异)。 |