一种柔性显示器及其制备方法

摘要

本发明公开一种柔性显示器及其制备方法。该方法包括：1）柔性基底分为多个像素单元区，在像素单元区形成由多层导电层和多层绝缘层构成的开关薄膜晶体管、驱动薄膜晶体管和电容器，该多层绝缘层对应覆盖柔性基底；2）开关薄膜晶体管、驱动薄膜晶体管和电容器上形成平坦化层后，再形成像素电极；3）将柔性基底上未被构成开关薄膜晶体管、驱动薄膜晶体管和电容器的各导电层以及像素电极覆盖的区域的多层绝缘层和平坦化层刻蚀除去，绝缘层和平坦化层与任一导电层重叠的部分保留，刻蚀后形成的填充区中填充柔性绝缘材料。本柔性显示器以柔性绝缘材料保护薄膜晶体管、电容器和像素电极等结构，弯曲灵活，防止像素电极的断裂或损坏。

主权项

一种柔性显示器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：1）柔性基底上分为多个像素单元区，各像素单元区包括开关薄膜晶体管区、驱动薄膜晶体管区和电容器区，在像素单元区形成多层导电层和多层绝缘层交叉叠加的层叠结构，该层叠结构包括位于开关薄膜晶体管区的开关薄膜晶体管、位于驱动薄膜晶体管区的驱动薄膜晶体管和和位于电容器区的电容器，其中该多层绝缘层对应覆盖柔性基底；2）在开关薄膜晶体管、驱动薄膜晶体管和电容器上形成平坦化层后，再形成像素电极；3）将柔性基底上未被构成开关薄膜晶体管、驱动薄膜晶体管和电容器的各导电层以及像素电极覆盖的区域的多层绝缘层和平坦化层刻蚀除去，其中，各绝缘层和平坦化层与任一导电层重叠的部分保留，刻蚀后形成填充区，在填充区中填充柔性绝缘材料。