发明名称 | 电熔丝结构 | ||
摘要 | 一种电熔丝结构,包括:衬底;位于衬底上的介质层;位于介质层内的第一导电图案层、第二导电图案层、及位于第一导电图案层和第二导电图案层之间的导电插塞,其中:第一导电图案层包括:至少一个第一电熔丝单元,第一电熔丝单元包括:两个第一电极、和位于两个第一电极之间的多个第一熔丝,第一熔丝的第一端部、第二端部分别与两个第一电极连接;第二导电图案层包括:第二电极、和与第二电极连接的第二熔丝;导电插塞与第二熔丝、及至少一个第一电熔丝单元的一个第一熔丝接触电连接。解决了现有电熔丝结构熔断前后无法获得恒定的电阻值变化,给电路设计者带来不便,并给电路设计带来一定的局限性的问题。 | ||
申请公布号 | CN104752396A | 申请公布日期 | 2015.07.01 |
申请号 | CN201310745666.5 | 申请日期 | 2013.12.30 |
申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 廖淼 |
分类号 | H01L23/525(2006.01)I | 主分类号 | H01L23/525(2006.01)I |
代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 骆苏华 |
主权项 | 一种电熔丝结构,其特征在于,包括:衬底;位于所述衬底上的介质层;位于所述介质层内的第一导电图案层、第二导电图案层、及位于所述第一导电图案层和第二导电图案层之间的导电插塞,其中:所述第一导电图案层包括:至少一个第一电熔丝单元,所述第一电熔丝单元包括:两个第一电极、和位于两个所述第一电极之间的多个第一熔丝,所述第一熔丝的第一端部、第二端部分别与两个所述第一电极连接;所述第二导电图案层包括:第二电极、和与所述第二电极连接的第二熔丝;所述导电插塞与所述第二熔丝、及至少一个所述第一电熔丝单元的一个第一熔丝接触电连接。 | ||
地址 | 201203 上海市浦东新区张江路18号 |