致动器

摘要

致动器具有：固定框；一对第1振动部；可动框；一对第2振动部；可动部；和第1监控信号检测部。第1振动部分别与固定框的内侧对置，具有连接于固定框的内侧的第1端和连接于可动框的外侧的第2端。第2振动部分别与可动框的内侧对置，具有连接于可动框的内侧的第1端和连接于可动部的第2端。第2振动部在与第1振动部延伸的方向正交的方向上延伸。第1监控信号检测部设置于可动框与第1振动部的连接部分，对可动框的位移进行检测。

主权项

一种致动器，具备：固定框；一对第1振动部，其与所述固定框的内侧对置，分别具有连接于所述固定框的内侧的第1端和第2端；可动框，其连接于所述一对第1振动部的各自的所述第2端；一对第2振动部，其与所述可动框的内侧对置，分别具有连接于所述可动框的内侧的第1端和第2端，并且在与所述一对第1振动部延伸的方向正交的方向上延伸；可动部，其连接于所述一对第2振动部的各自的所述第2端；和第1监控信号检测部，其设置于所述可动框与所述一对第1振动部的连接部分，对所述可动框的位移进行检测。