集成传感器的测试方法及其测试系统

摘要

本发明涉及一种集成传感器的测试方法及其测试系统，其为依次将待测集成传感器的磁传感器和加速度传感器的X轴与地磁场和重力场方向平行，使用校准过的集成传感器测试装置依次读出待测集成传感器的X轴的磁场和重力场的测试输出，然后根据测试获得的输出数据计算得出待测集成传感器X轴的偏置输出和灵敏度。本发明涉及的集成传感器的测试方法及其测试系统，一次性的完成集成传感器的磁传感器和加速度传感器的测试，极大地提高了测试效率，并在一定程度上降低了集成传感器的生产成本，有利于集成传感器的大规模生产和普及。

主权项

一种集成传感器的测试方法，其中所述集成传感器包括磁传感器和加速度传感器，其特征在于：其包括以下步骤：将测试装置的X轴与当地磁场的磁力线平行；使用标准电路校准测试装置接口的X轴测试参数；将集成传感器接入测试装置的接口上，调整其磁传感器的X轴与地磁场的磁力线平行，读出测试装置对于所述磁传感器X轴的测试输出MX1；旋转磁传感器180度，读出其测试输出MX2；根据磁传感器的X轴的测试输出MX1和MX2，计算磁传感器X轴的偏置输出和/或灵敏度；调整集成传感器的位置，使得其加速度传感器的X轴与重力场方向平行，读出此时测试装置对于所述加速度传感器X轴的测试输出AX1；旋转加速度传感器180度，读出其测试输出AX2；根据加速度传感器X轴的测试输出AX1和AX2，计算加速度传感器X轴的偏置输出和/或灵敏度。