| 发明名称 | 用来减轻镜片加热现象之光罩设计 | ||
| 摘要 | |||
| 申请公布号 | TWI490635 | 申请公布日期 | 2015.07.01 |
| 申请号 | TW101147550 | 申请日期 | 2012.12.14 |
| 申请人 | 南亚科技股份有限公司 | 发明人 | 周建明;戴佛乐 安东;拜尔斯 艾瑞克 |
| 分类号 | G03F1/38;H01L21/027 | 主分类号 | G03F1/38 |
| 代理机构 | 代理人 | 吴丰任 新北市永和区福和路389号6楼之3;戴俊彦 新北市永和区福和路389号6楼之3 | |
| 主权项 | 一种减轻透镜加热用的光罩，包括：一基板，其包括有效的(live)图案区域；位于该有效的图案区域中的一目标图案，用来将该目标图案建立到一晶圆上；以及一重分配图案，位于该有效的图案区域中，用来将能量重新分配至一镜片而不会被转印至该晶圆上，亦不会在将该目标图案建立至该晶圆上时修改该目标图案。 | ||
| 地址 | 桃园市龟山区华亚科技园区复兴三路669号 | ||