| 主权项 |
一种溶剂混合系统，包括：一混合单元，包括：一混合槽，用以混合一制程溶液；一第一循环流路，包括一第一循环入口、一连结于该第一循环入口之第一循环出口，其中该第一循环入口耦接该混合槽并接收该制程溶液，且该第一循环出口耦接于该混合槽并排出该制程溶液；一第一过滤流路，包括一第一过滤入口、一连结于该第一过滤入口之第一过滤出口以及一连结于该第一过滤入口及该第一过滤出口之间之第一过滤元件，其中该第一过滤入口耦接该混合槽并接收该制程溶液，且该第一过滤出口耦接于该混合槽并排出该制程溶液；以及一供应单元，耦接于该混合单元，其中该制程溶液进入该供应单元前依序通过该第一循环流路及该第一过滤流路。 |
