| 摘要 |
<p>안테나를 유전체 플레이트로부터 일정 거리 이격시키는 플라즈마 발생장치가 개시된다. 플라즈마 발생장치는 안테나와, 안테나의 하측에 배치된 유전체 플레이트를 포함하며, 안테나와 유전체 플레이트 사이에 개재된 이격부재를 포함한다. 이에 따라, 안테나가 유전체 플레이트로부터 일정 거리 이격된 상태로 배치됨으로써, 안테나와 유전체 플레이트 사이에서의 아킹 발생을 방지할 수 있다. 그러므로, 종래의 플라즈마 발생장치에서 문제가 되었던 안테나가 파손되거나 또는 안테나 및 유전체 플레이트가 아킹으로 인해 오염되는 것을 방지할 수 있다.</p> |
