Procedimiento y dispositivo para el tratamiento con plasma por el lado interior de cuerpos huecos

摘要

Procedimiento para el tratamiento con plasma de unas piezas de trabajo en forma de cuerpos huecos, en el que dentro de una cámara del reactor es puesta en vacío por lo menos parcialmente una zona de tratamiento, un gas de proceso se introduce en la zona de tratamiento, en particular en la pieza de trabajo, y mediante una energía electromagnética irradiada se genera un plasma en el entorno de por lo menos una parte de la superficie de la pieza de trabajo, caracterizado por que el plasma durante una excitación de un gas mediante una descarga de efluvios se inflama en un recinto (28) separado de la cámara (2) del reactor mediante una irradiación de energía electromagnética en el gas de proceso introducido y por que el gas de proceso durante el tratamiento con plasma circula a través de la zona de tratamiento entre extremos opuestos de la zona.