| 摘要 |
<p>종래, 웨이퍼 등의 반송 시스템에 있어서, 사전에 장치에 전실(前室)을 설치하고, 용기로부터 피반송물을 전실을 통과시킴으로써 장치 구역에 피반송물을 반송하고 있었기 때문에, 용기와 전실의 접속이 복잡한 기구에 의해 이루어지고 있었다. 본 발명은, 반송용기(7)는, 반송용기 본체(11)와 반송용기 도어(12)의 밀착 연결 가능한 실링구조를 갖고, 장치(8)는, 장치 본체(13)와 장치 도어(9)의 밀착 연결 가능한 실링구조를 가지며, 또한, 반송용기와 장치는, 양자가 밀착 연결 가능한 실링구조를 가져, 반송용기와 장치가 밀착 연결되었을 때만, 밀폐화된 연결실을 형성하여, 반송용기 도어가 반송용기로부터 분리되어 장치 내에 도입되는 구조를 갖고, 반송용기 본체와 반송용기 도어는 자석 및/또는 자성체(28), (27)를 가져, 이들 사이의 자기력에 의해 반송용기 도어와 반송용기를 닫는 구조를 갖는 반송용기를 구성하여, 장치 본체와 자석(26)을 갖는 장치 도어를 갖는 장치로 되는 연결 시스템.</p> |
