发明名称 Fast Tool Servo for 3-Dimensional cutting work
摘要 <p>본 발명은 3차원 미소절삭장치에 관한 것이다. 이는 메인바디와; 상기 메인바디에 고정되며 지지력을 제공하는 지지부와; 상기 지지부에 대해 이격 배치되는 진동부와; 상기 지지부와 진동부를 연결하며 진동부를 탄력 지지하는 탄성부재와; 상기 진동부에 링크되며 진동부를 진동시키는 진동발생기와; 상기 진동부에 착탈 가능하게 장착되는 절삭툴을 포함하는 것을 특징으로 한다. 상기와 같이 이루어지는 본 발명의 3차원 미소절삭장치는, 가공대상물 표면의 깊이 방향으로의 구동변위에 따른 형상 가공은 물론 좌우 폭방향으로의 구동변위에 따른 절삭 가공이 가능하므로, 최신 3D 미세패턴의 가공을 효과적으로 수행 할 수 있다.</p>
申请公布号 KR101532407(B1) 申请公布日期 2015.06.30
申请号 KR20130123931 申请日期 2013.10.17
申请人 发明人
分类号 B24B27/06;B28D5/04;H01L21/301 主分类号 B24B27/06
代理机构 代理人
主权项
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