| 摘要 |
<p>(해결 수단) 전기 광학 장치(100)의 소자 기판(10)을 제조할 때, 해상도가 낮은 전기 광학 장치용 및, 해상도가 높은 전기 광학 장치용의 어느 쪽을 제조하는 경우에 있어서도, 격벽(partition wall; 5b)으로 둘러싸인 오목부(5e) 내에 액상물(85)을 토출하여 오목부(5e) 내에 액상물(85)을 충전한 후, 액상물(85)로부터 용매 성분을 제거하여 유기 기능층(86)을 형성한다. 이러한 공정을 행할 때, 오목부(5e)의 개구폭(W1)이 좁은 경우에는, 기능층 형성 재료 농도가 높은 액상물(85)을 오목부(5e)에 메니스커스(meniscus)가 부풀도록(protruding) 충전하고, 오목부(5e)의 개구폭(W2)이 넓은 경우에는, 기능층 형성 재료 농도가 낮은 액상물(85)을 오목부(5e)에 메니스커스가 부풀도록 충전한다.</p> |
