| 摘要 |
Датчик давления, содержащий корпус, в котором герметично размещены полупроводниковые чувствительные элементы, на которых сформированы тензодатчики, выполненные в виде мостовой схемы, две полости, заполненные электроизоляционной жидкостью, расположенные с торцов по ходу движения жидкости, первый полупроводниковый чувствительный элемент с первым тензодатчиком расположены между полостями, а второй полупроводниковый чувствительный элемент параллелен первому полупроводниковому чувствительному элементу, корпус загерметизирован профилированными мембранами, расположенными с зазором относительно сторон корпуса, перпендикулярными относительно хода движения жидкости, отличающийся тем, что полупроводниковые чувствительные элементы выполнены в виде микроэлектромеханических структур разной толщины, при этом второй чувствительный элемент со стороны тензодатчика соединен с атмосферой, имеет толщину, большую, чем первый чувствительный элемент, а второй стороной обращен к полости с электроизоляционной жидкостью. |
