A method for preparing mono-silane by using trialkoxysilane

摘要

본 발명은 모노실란의 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 트리알콕시실란을 이용하여 고순도와 고수율로 모노실란을 제조함으로써, 얇은 반도체 구조의 조성 및 다목적의 고순도 다결정 실리콘에 유용한 모노실란을 경제적으로 제조방법에 관한 것이다.