| 摘要 |
<p>본 발명은 웨이퍼 적재장치에 관한 것이다. 본 발명은 유리 기판을 이용하는 유기 전계 발광소자를 제조하는 장비에 웨이퍼를 사용하기 위한 웨이퍼 적재장치에 있어서, 유리 기판에 대응되는 크기를 가진 적재 몸체를 포함하고, 적재 몸체의 적어도 일면에는 웨이퍼가 안착되기 위한 안착홈이 형성된다. 이와 같은 본 발명에 의하면, 유리 기판에 대응되는 크기 및 형상을 가진 웨이퍼 적재장치에 웨이퍼를 적재한 상태에서 기존의 유기 전계 발광소자 제조장비를 이용하여 웨이퍼를 이송할 수 있기 때문에 기존의 제조장비와 호환이 가능하다.</p> |
