| 发明名称 |
FLUOROALCOHOL CONTAINING MOLECULAR PHOTORESIST MATERIALS AND PROCESSES OF USE |
| 摘要 |
<p>개시되는 칼릭스아렌(calixarenes)과 같은 페놀릭 분자 유리들은 적어도 하나의 플루오로알코올 함유 유닛(fluoroalcohol containing unit)을 포함한다. 이 플루오로알코올 함유 분자 유리들은 포토레지스트 조성물들에 사용될 수 있다. 또한 포토레지스트 조성물을 사용하여 기판 상에 레지스트 이미지를 생성하기 위한 프로세스들도 개시된다.</p> |
| 申请公布号 |
KR101531773(B1) |
申请公布日期 |
2015.06.25 |
| 申请号 |
KR20137012373 |
申请日期 |
2011.11.21 |
| 申请人 |
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发明人 |
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| 分类号 |
C07C39/367;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039 |
主分类号 |
C07C39/367 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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