发明名称 |
VERFAHREN ZUR VERARBEITUNG EINER HALBLEITERVORRICHTUNG |
摘要 |
Gemäß einer Ausführungsform wird ein Verfahren zur Verarbeitung einer Halbleitervorrichtung bereitgestellt, das Folgendes aufweist: das Ausbilden einer abschließenden Metallschicht, das Ausbilden einer Passivierungsschicht über der abschließenden Metallschicht und das Strukturieren der Passivierungsschicht und der abschließenden Metallschicht zur Ausbildung einer strukturierten Metallschicht und einer strukturierten Passivierungsschicht, wobei die strukturierte Metallschicht einen Anschlussflächenbereich aufweist, der durch die strukturierte Passivierungsschicht abgedeckt ist. |
申请公布号 |
DE102014119360(A1) |
申请公布日期 |
2015.06.25 |
申请号 |
DE201410119360 |
申请日期 |
2014.12.22 |
申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
LEHNERT, WOLFGANG;ROGALLI, MICHAEL |
分类号 |
H01L21/768;H01L21/283;H01L21/60 |
主分类号 |
H01L21/768 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|