| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von elektrischen Auslöseelementen für pyrotechnische Gegenstände wie Zünder oder Anzünder, bei dem in einer ersten Stufe a) photolithografisch ein Lack auf ein nicht elektrisch leitfähiges Substrat aufgebracht, b) mittels eines PVD-Prozesses ein leitfähiges Material in einer Schichtdicke von 0,02μm bis 8,0μm und mit einem spezifischen Widerstand von 0,1Ω·mm bis 5,0Ω·mm auf Lack und Substrat aufgebracht und c) der Lack vom Substrat abgelöst wird sowie gegebenenfalls in einer zweiten Stufe d) erneut ein photolithografischer Prozess durchgeführt wird, bei dem ein genau definierter Bereich des Widerstandsstreifens mit Photolack abgedeckt, e) die gesamte Substratoberfläche mit einer 0,1μm bis 20μm dicken Schicht eines Metalls mit einem spezifischen Widerstand von 0,01Ω·mm bis 0,1Ω·mm überzogen wird, wobei die Aufbringung des Metalls so gestaltet wird, dass in Bereichen die vom ersten Photolithographieprozess blankes Substrat aufweisen, kein Metall haftet und f) der Lack vom zweiten Photolithografieprozess wieder abgelöst wird.</p> |
