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<p>Bei einer mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung, welche eine Probe in einer Gasumgebung beim Atmosphärendruck oder bei einem Druck, der dem Atmosphärendruck im Wesentlichen gleicht, beobachtet, ist eine Membran, welche einen Raum auf dem Atmosphärendruck, worin sich die Probe befindet, und einen Vakuumraum im Inneren eines Tubus einer elektronenoptischen Linse trennt, sehr dünn gemacht, um zu ermöglichen, dass ein Elektronenstrahl davon durchgelassen wird, und sie wird leicht beschädigt. Wenngleich es beim Austauschen der Membran erforderlich ist, die Position der Membran einzustellen, kann die Einstellung der Position der Membran durch ein herkömmliches Verfahren nicht leicht ausgeführt werden. Bei einer mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung, die eine Konfiguration aufweist, bei der ein Dünnfilm, der eine Vakuumumgebung und eine atmosphärische Umgebung oder eine Gasumgebung trennt, verwendet wird, sind eine abnehmbare Membran, die einen Raum, in dem sich die Probe befindet, unterteilt, so dass der Druck im Raum, in dem sich die Probe befindet, auf einem Niveau gehalten wird, das größer ist als der Druck im Inneren des Gehäuses, und welche das Hindurchlaufen oder Hindurchtreten eines Strahls primärer geladener Teilchen ermöglicht, und ein bewegliches Element, das die Membran in einem Zustand bewegen kann, in dem der Druck in dem Raum, in dem sich die Probe befindet, und der Druck im Inneren des Gehäuses unverändert gehalten werden, bereitgestellt.</p> |
