Verfahren zum Aufnehmen eines Phasenkontrastbilds mit einem TEM

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Aufnehmen eines Phasenkontrastbilds einer Probe 3 mit einem Transmissionselektronenmikroskop (TEM), wobei zur Erhöhung des Phasenkontrasts eine Phasenplatte 1 vorgesehen ist, die einen zusätzlichen Phasensprung zwischen an der Probe 3 gestreuten und nicht gestreuten Elektronen bewirkt; um eine mögliche Ungleichmäßigkeit der Phasenplatte 1 durch Mittelung zu verringern, werden der Elektronenstrahl 2 und die Phasenplatte 1 für das Erstellen des Kontrastbilds relativ zueinander bewegt.