| 摘要 |
<p>전자 퓨즈들(e-fuse)의 구조들이 제공된다. 프로그래밍되지 않은 e-퓨즈(100)은 바닥과 측벽들을 갖는 제1 도전성 재료의 비아(120) - 상기 측벽들의 부분은 도전성 라이너(121)에 의해서 덮이고 상기 비아의 바닥은 유전체 층(410)의 상부에 형성됨 - 과 상기 유전체 층 (410)의 상부에 형성되는 제2 도전성 재료의 제1 및 제2 도전성 경로들(111, 112) - 상기 제1 및 제2 도전성 경로들은 상기 측벽들에서 상기 비아(120)을 통해서, 오직 통해서만, 도전적으로 연결됨 - 을 포함한다. 프로그래밍된 e-퓨즈는 비아(120); 상기 비아의 제1 사이드에 위치하고 공동(122)에 의해서 상기 비아의 측벽들로부터 분리되는 제1 도전성 경로(111); 및 상기 비아의 제2의 다른 사이드에 위치하고 상기 비아의 측벽들을 통해서 상기 비아와 도전적 콘택을 하는 제2 도전성 경로 (112)를 포함한다.</p> |
