| 摘要 |
<p>본 발명은 기판 코터 장치용 슬릿 노즐 및 이를 구비한 기판 코터 장치에 관한 것으로, 피처리 기판의 표면에 약액을 도포하는 기판 코터 장치의 슬릿 노즐로서, 약액 펌프로부터 약액을 공급받는 약액 유입구가 중앙부 상측에 형성되고, 상기 약액 유입구로부터 토출구에 이르기까지 폭이 점점 커지는 영역이 구비된 약액 유로가 형성되고, 상기 토출구와 인접한 하부 양측에는 상기 토출구로부터 토출된 약액을 흡입하는 흡입 유로가 형성되어, 도포 영역에만 약액을 도포함으로써 불필요하게 약액이 도포되는 것을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 피처리 기판의 도포 영역의 중심부와 가장자리부의 도포 두께를 균일하게 조절할 수 있는 기판 코터 장치 및 이에 사용되는 슬릿 노즐을 제공한다.</p> |
