带电粒子束装置以及试样制作方法

摘要

本发明提供一种带电粒子束装置，其具备：带电粒子源；使从带电粒子源放出的带电粒子束聚焦在试样上的物镜；检测从试样放出的二次带电粒子的检测器；能够与试样接触的探针；向试样放出导电性气体的气体喷嘴；以及对探针的驱动和从气体喷嘴的气体放出进行控制的控制部，控制部在向试样照射带电粒子束并加工试样之后、使探针与试样接触之前，使气体从气体喷嘴朝向加工位置放出，并照射带电粒子束而在试样的加工部形成导电性膜，并且具备判断形成于加工部的导电性膜与探针的接触的接触探测部。

主权项

一种带电粒子束装置，具备：带电粒子源和使从上述带电粒子源放出的带电粒子束聚焦在试样上的物镜；检测从上述试样放出的二次带电粒子的检测器和能够与上述试样接触的探针；向上述试样放出导电性气体的气体喷嘴；以及对上述探针的驱动和从上述气体喷嘴的气体放出进行控制的控制部，上述带电粒子束装置的特征在于，就上述控制部而言，在向上述试样照射带电粒子束而加工上述试样之后且使上述探针与试样接触之前，使气体从上述气体喷嘴向加工位置放出，并照射上述带电粒子束而在上述试样的加工部形成导电性膜，并且具备接触探测部，该接触探测部判断形成于上述加工部的导电性膜与上述探针的接触。