一种硫氮共掺杂制备p型氧化锌薄膜的方法

摘要

本发明公开了一种硫氮共掺杂制备p型氧化锌薄膜的方法，选用射频磁控溅射系统作为镀膜设备，选用硫化锌陶瓷作为靶材，首先对衬底材料清洗干净并用氮气吹干；然后进行预溅射，除去靶材表面的杂质、污物；接下来通入反应气体进行溅射；退火处理后得到硫氮共掺杂的p型氧化锌薄膜。本发明采用硫氮共掺杂的方法，使得氧化锌的价带顶上移，降低了氧化锌中氮受主的激活能，提高了p型掺杂的效率。而且可以通过改变N₂O和Ar的流量比即可调节薄膜中硫和氮的含量，操作更加灵活简便，同时节约了成本，适合大规模工业化生产。

主权项

一种硫氮共掺杂制备p型氧化锌薄膜的方法，其特征在于，具体步骤如下：(1)选用射频磁控溅射系统作为镀膜设备，选用硫化锌陶瓷靶材，所述硫化锌靶材的纯度大于或等于99.99％；(2)将衬底材料清洗干净并用氮气吹干；(3)把经过清洗的衬底材料放入溅射腔室，在真空度抽至1×10^‑6～7×10^‑6Torr时，通入溅射气体Ar，使其起辉，进行预溅射，除去靶材表面的杂质、污物；(4)通入反应气体N₂O，使N₂O和Ar的流量比为1:5，保持工作气压为2～4mTorr，溅射功率保持为100～200W，溅射时间为0.5～3小时；(5)对步骤(4)得到的样品在N₂气氛下进行退火处理。