显微镜物镜

摘要

提供一种显微镜物镜，其具有高开口数且相对于色像差为复消色差透镜，而且在长动作距离下直到周边像差都能够被良好地修正。显微镜物镜(OL)从物体侧依次具有：具有正折射力的第一透镜组(G1)；具有正折射力的第二透镜组(G2)；和具有负折射力的第三透镜组(G3)，第一透镜组(G1)在最靠近物体侧具有将凹面朝向物体侧的正弯月形透镜(L1)，第二透镜组(G2)具有衍射光学元件(GD)，该衍射光学元件具有正折射力，衍射光学元件(GD)与通过第一透镜组(G1)及第二透镜组(G2)的光束的直径最大部分相比配置在像侧。

主权项

一种显微镜物镜，从物体侧依次具有：具有正折射力的第一透镜组；具有正折射力的第二透镜组；和具有负折射力的第三透镜组，所述第一透镜组在最靠近物体侧具有将凹面朝向物体侧的正弯月形透镜，其特征在于，所述第二透镜组具有衍射光学元件，该衍射光学元件具有正折射力，所述衍射光学元件与通过所述第一透镜组及所述第二透镜组的光束的直径最大部分相比配置在像侧，当使所述第一透镜组的所述正弯月形透镜的介质的相对于d线的折射率为n1、所述第一透镜组的最靠近物体侧的透镜面的曲率半径为r1、整个系统的焦距为F、通过所述第一透镜组及所述第二透镜组的光束的最大直径为φmax、通过所述衍射光学元件的衍射光学面的光束的最大直径为φDOE时，满足下式的条件：n1≥1.80.5≤(‑r1)/F≤4.5φDOE/φmax＜0.9。